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廠家直銷 SIMCO思美高超潔凈工藝設(shè)備型號5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄 5225型Aerober離子發(fā)生器是一種棒式離子發(fā)生器，專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體等超潔凈工藝設(shè)備。廠家直銷 SIMCO思美高超潔凈工藝設(shè)備型號5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄 SIMCO思美高超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄 SIMCO思美高超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄

詳情介紹：

特點(diǎn)

在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險
通過脈沖DC方法實(shí)現(xiàn)廣泛的靜電消除能力
由全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子產(chǎn)生和長離子平衡
通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標(biāo)（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當(dāng)在中和目標(biāo)的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動調(diào)整）
設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對應(yīng)的長度條
可以在很寬的范圍內(nèi)設(shè)置離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時間，報(bào)警閾值等各種參數(shù)，實(shí)現(xiàn)靈活的通信，如長距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
僅通過輸入?yún)?shù)的數(shù)值就可以獲得高重復(fù)性，并且可以在短時間內(nèi)設(shè)置
除了簡單的報(bào)警IO之外，還可以通過免費(fèi)DLL使用進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控，有助于掌握過程設(shè)備中的狀態(tài)

規(guī)范

5225型AeroBar

輸入電壓	24 V AC，50/60 Hz，1 W Typ。由IM6T提供。
溝通形式	RS485（IM6T和5225之間）
輸出電壓	0 kv至約+/- 20 kv
輸出表格	脈沖直流模式，穩(wěn)態(tài)直流模式（可選）
輸出電流	<15 micro A內(nèi)置電流和電壓限制電路
接頭連接器	RJ 11,4極4芯
離子發(fā)生時間	小0.1秒，長10秒可單獨(dú)設(shè)置正負(fù)
電極	單晶硅電極可更換
臭氧產(chǎn)生量	<0.005 ppm（24小時綜合測量）
清潔度相應(yīng)	ISO Class 1,0.1微米
維	高53 mm x深31 mm x長569 mm（-22），721 mm（-28），
	907毫米（-36），1128毫米（-44），1412毫米（-56），1636毫米（-64），
	1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
重量	-22：每增加一個長度1.02千克/0.17千克/ 30厘米
外觀	ABS樹脂

接口模塊型號5200-IM6T

輸入電壓	24 V DC +/- 5％，1.5 A.
溝通形式	以太網(wǎng)，RS232C
報(bào)警輸出	中繼聯(lián)系（僅適用于4.0或更高版本）
維	高74毫米x深71毫米x長315毫米
重量	2公斤

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產(chǎn)品名稱：SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄

特點(diǎn)

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產(chǎn)品名稱：SIMCO思美高超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄